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常熟光刻板信赖推荐「在线咨询」

发布时间:2020-11-04 12:46:42        







公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!


掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生严重的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。

使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(ESD),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。光刻掩膜版(又称光罩,英文为MaskReticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(Mask Room),在存取掩膜板时室内保持2人。








硬刮和软刮:凹版印刷中的不同装法在印刷中所产生的效果是不样的。硬刮是指离支撑刀片较短,效果反差大,易磨损版辊,对解决版面不干净会有一点作用。软刮是指离支撑刀片距离较长点,效果是色调平缓,易产生灰雾。对于版上浅网部分的转移会有1定的帮助。






掩模板是根据放大了的原图制备的带有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金属铬薄膜,通过类似照相制版的方法制备而成。②在显影之前必须保持各传动辊清洁,若牵引辊不干净,显影时印版易粘上脏点。具有微纳图形结构的掩模板通常使用电子束光刻机直接制备,其制作过程就是典型的光刻工艺过程,包括金属各层沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程。




光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和苏打掩膜版为高校和科研院所光刻时所常用的光刻掩膜版。

石英掩膜版

使用石英玻璃为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整和耐磨,使用寿命长,主要用于掩膜版

使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整度和耐磨性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版







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